●用于空氣

適用液體：空氣，氮?dú)?，氬氣，二氧化?br />空氣質(zhì)量等級(jí)為JIS B 8392.1-1。1.2至1.6.2，ISO 8573.1-1。1.2至1.6.2。

●用于去離子水，化學(xué)品

適用液體：去離子水
超純水
不會(huì)腐蝕管道材料的液體。

●用于水

適用液體：
水（50％）和乙二醇（50％）的水混合物
 

●卡曼漩渦

當(dāng)細(xì)長(zhǎng)物體（渦流發(fā)生器）放置在流動(dòng)中時(shí)，在下游側(cè)產(chǎn)生往復(fù)渦流。這些渦流在某些條件下是穩(wěn)定的，并且它們的頻率與流速成比例，得到下面的公式。

f = k×v 

f：渦旋頻率v：流速k：比例常數(shù)（由渦流發(fā)生器的尺寸和形狀決定）。因此，可以通過(guò)檢測(cè)該頻率來(lái)測(cè)量流速。

●熱式（MEMS）

該MEMS傳感器芯片由上游溫度測(cè)量傳感器（Ru）和下游溫度測(cè)量傳感器（Rd）組成，它們從安裝在膜上的鉑薄膜涂層加熱器（Rh）的中心對(duì)稱放置，以及環(huán)境溫度傳感器（ Ra）用于測(cè)量氣體溫度。
原理如下圖所示，Ru和Rd之間的電阻差異與流速成正比，因此電阻的測(cè)量和分析可以顯示氣體的流動(dòng)方向和速度。
Ra用于補(bǔ)償氣體和/或環(huán)境溫度。



該流量開(kāi)關(guān)使用L / min作為流量指示器單元。質(zhì)量流量在0℃和101.3kPa以及20℃和101.3kPa的條件下轉(zhuǎn)換和顯示。

對(duì)于空氣
適用液體：空氣，氮?dú)?，氬氣，二氧化?br />空氣質(zhì)量等級(jí)為JIS B 8392.1-1。1.2至1.6.2，ISO 8573.1-1。1.2至1.6.2。

●熱敏型（熱敏電阻）

加熱的熱敏電阻安裝在通道中，當(dāng)熱敏電阻被引入通道時(shí)，流體從熱敏電阻吸收熱量。熱敏電阻的電阻值隨著熱量的增加而增加。由于電阻值增加比與流速具有均勻的關(guān)系，因此可以通過(guò)測(cè)量電阻值來(lái)檢測(cè)流速。為了進(jìn)一步補(bǔ)償流體和環(huán)境溫度，溫度傳感器也內(nèi)置在開(kāi)關(guān)中，以便在工作溫度范圍內(nèi)進(jìn)行穩(wěn)定的測(cè)量。



該流量開(kāi)關(guān)使用L / min作為流量指示器單元。質(zhì)量流量在0℃和101.3kPa以及20℃和101.3kPa的條件下轉(zhuǎn)換和顯示。